Plasma Enhanced Complete Oxidtation of Ultrathin Epitaxial Praseodymia Films on Si(111)

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Author: Olga Kuschel, Florian Dieck, Henrik Wilkens, Sebastian Gevers, Jari Rodewald, Christian Otte, Marvin H. Zöllner, Gang Niu, Thomas Schröder, Joachim Wollschläger
DOI:https://doi.org/10.3390/ma8095312
ISSN:1996-1944
Title of the source (English):Materials
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2015
Volume/Year:8
Issue number:9
First Page:6379
Last Page:6390
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Halbleitermaterialien
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