MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben
Author: | Harald Schenk, Holger Conrad, Matthieu Gaudet, Klaus Schimmanz, Sergiu Langa, Bert Kaiser |
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Title Additional (English): | MEMS transducer for interacting with a volume flow of a fluid and method of manufacturing the same |
Document Type: | Patent |
Language: | German |
Year of publication: | 2015 |
Patent number: | DE 10 2015 210 919 |
Patent number: | WO 16202790 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme |