MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben

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Author: Harald Schenk, Holger Conrad, Matthieu Gaudet, Klaus Schimmanz, Sergiu Langa, Bert Kaiser
Title Additional (English):MEMS transducer for interacting with a volume flow of a fluid and method of manufacturing the same
Document Type:Patent
Language:German
Year of publication:2015
Patent number:DE 10 2015 210 919
Patent number:WO 16202790
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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