Ion-sensitive structure and method of manufacturing the same

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Metadaten
Author: Eberhard Kurth, Christian Kunath, Harald Schenk
Document Type:Patent
Language:English
Year of publication:2016
Patent number:DE 10 2015 204921
Patent number:EP 3070463
Patent number:US 2016274057
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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