Mikromechanisches System zum Durchstimmen von Lasern (Micromechanical system for tuning of lasers)

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Metadaten
Author: Harald Schenk, Jan Grahmann, Hans-Joachim Wagner, Ralf Ostendorf, Marcel Rattunde
Document Type:Patent
Language:German
Year of publication:2015
Patent number:DE 102014 201 701.7
Patent number:WO 2015114016
Patent number:US 2016336720
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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