Mikromechanisches System zum Durchstimmen von Lasern (Micromechanical system for tuning of lasers)
Author: | Harald Schenk, Jan Grahmann, Hans-Joachim Wagner, Ralf Ostendorf, Marcel Rattunde |
---|---|
Document Type: | Patent |
Language: | German |
Year of publication: | 2015 |
Patent number: | DE 102014 201 701.7 |
Patent number: | WO 2015114016 |
Patent number: | US 2016336720 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme |