A novel electrostatic micro-actuator class and its application potential for optical MEMS

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Author: Harald Schenk, Holger Conrad, Matthieu Gaudet, Sebastian Uhlig, Bert Kaiser, Sergiu Langa, Michael Stolz, Klaus Schimmanz
DOI:https://doi.org/10.1109/OMN.2016.7565867
ISBN:978-1-5090-1036-3
Title of the source (English):2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics,31 July-04 August 2016, Singapore, proceedings
Publisher:IEEE
Place of publication:Piscataway, NJ
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2016
First Page:Tu 3.11-1
Last Page:Tu 3.11-2
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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