A novel electrostatic actuator class

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Metadaten
Author: Holger Conrad, Bert Kaiser, Matthieu Gaudet, Sergiu Langa, Michael Stolz, Sebastian Uhlig, Klaus Schimmanz, Harald Schenk
DOI:https://doi.org/10.1016/j.proeng.2016.11.454
ISSN:1877-7058
Title of the source (English):Procedia Engineering
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2016
Volume/Year:168
First Page:1533
Last Page:1536
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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