Transport of Sputtered Particles in Capacitive Sputter Sources

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Metadaten
Author: Jan TrieschmannORCiD, Thomas MussenbrockORCiDGND
DOI:https://doi.org/10.1063/1.4926878
ISSN:1089-7550
ISSN:0021-8979
Title of the source (English):Journal of Applied Physics
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2015
Volume/Year:118
Issue number:3
First Page:033302
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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