Experimental Investigations of Electron Heating Dynamics and Ion Energy Distributions in Capacitive Discharges Driven by Customized Voltage Waveforms

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Author: Birk BergerORCiD, Steven Brandt, James Franek, Edmund Schüngel, Mark Koepke, Thomas MussenbrockORCiDGND, Julian SchulzeORCiD
DOI:https://doi.org/10.1063/1.4937403
ISSN:1089-7550
ISSN:0021-8979
Title of the source (English):Journal of Applied Physics
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2015
Volume/Year:118
Issue number:22
First Page:223302
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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