On the Physics of a Large CCP Discharge

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Metadaten
Author: Denis Eremin, Stefan Bienholz, Daniel Szeremley, Jan TrieschmannORCiD, Stefan Ries, Peter AwakowiczGND, Thomas MussenbrockORCiDGND, Ralf Peter Brinkmann
DOI:https://doi.org/10.1088/0963-0252/25/2/025020
ISSN:1361-6595
ISSN:0963-0252
Title of the source (English):Plasma Sources Science and Technology
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2016
Volume/Year:25
Issue number:2
First Page:025020
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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