Particle-in-Cell/Test-Particle Simulations of Technological Plasmas: Sputtering Transport in Capacitive Radio Frequency Discharges

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Metadaten
Author: Jan TrieschmannORCiD, Frederik Schmidt, Thomas MussenbrockORCiDGND
DOI:https://doi.org/10.1002/ppap.201600140
ISSN:1612-8869
Title of the source (English):Plasma Processes and Polymers
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2017
Volume/Year:14
Issue number:1-2
First Page:1600140
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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