Einfluß von Nanopartikeln auf die Funktion von Hochtemperatursensoren
- Es werden Untersuchungen an als Hochtemperatur-Sensoren arbeitenden Schottky-Dioden mit dem Aufbau Metall-Oxidschicht-Siliziumkarbid vorgestellt. Dazu wurden Tiefenprofile mit XPS durch abwechselndes Abtragen durch Sputtern und Messen erstellt. Die Messungen erfolgten an thermisch unterschiedlich vorbehandelten Proben. Dabei konnten dipol-bedingte Verschiebungen der Bindungsenergie von Rumpfniveaus beobachtet werden. Das dazu notwendige Dipol-Moment wird durch das Entstehen von mit einer Oxidschicht überzogenen Nanoteilchen erklärt. Die unterschiedlich ausgeprägten Dipol-Verschiebungen auf den einzelnen Proben erlaubten eine Erklärung der thermischen Vorbehandlung, die bei Weglassen zu „frischen“ und je nach Temperatur zu „aktivierten“ oder „toten“ Sensoren führte.
Author: | Patrick Hoffmann, Oliver Böhme, Dieter SchmeißerORCiD, Anita Lloyd Spetz, Per Mårtenson |
---|---|
URL: | http://www.dpg-verhandlungen.de/year/1999/conference/muenster/part/o/session/16/contribution/1?lang=en |
Title of the source (German): | Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft |
Publisher: | Deutsche Physikalische Gesellschaft |
Place of publication: | Bad Honnef |
Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | German |
Year of publication: | 1999 |
Tag: | Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS); Tiefenprofilierung Hochtemperatursensoren |
Series ; volume number: | Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft ; Reihe 6, Band 34 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |