Einfluß von Nanopartikeln auf die Funktion von Hochtemperatursensoren

  • Es werden Untersuchungen an als Hochtemperatur-Sensoren arbeitenden Schottky-Dioden mit dem Aufbau Metall-Oxidschicht-Siliziumkarbid vorgestellt. Dazu wurden Tiefenprofile mit XPS durch abwechselndes Abtragen durch Sputtern und Messen erstellt. Die Messungen erfolgten an thermisch unterschiedlich vorbehandelten Proben. Dabei konnten dipol-bedingte Verschiebungen der Bindungsenergie von Rumpfniveaus beobachtet werden. Das dazu notwendige Dipol-Moment wird durch das Entstehen von mit einer Oxidschicht überzogenen Nanoteilchen erklärt. Die unterschiedlich ausgeprägten Dipol-Verschiebungen auf den einzelnen Proben erlaubten eine Erklärung der thermischen Vorbehandlung, die bei Weglassen zu „frischen“ und je nach Temperatur zu „aktivierten“ oder „toten“ Sensoren führte.

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Metadaten
Author: Patrick Hoffmann, Oliver Böhme, Dieter SchmeißerORCiD, Anita Lloyd Spetz, Per Mårtenson
URL:http://www.dpg-verhandlungen.de/year/1999/conference/muenster/part/o/session/16/contribution/1?lang=en
Title of the source (German):Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft
Publisher:Deutsche Physikalische Gesellschaft
Place of publication:Bad Honnef
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of publication:1999
Tag:Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS); Tiefenprofilierung
Hochtemperatursensoren
Series ; volume number:Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft ; Reihe 6, Band 34
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
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