Method for generating a micromechanical structure

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Metadaten
Author: Denis Jung, Christian Drabe, Harald Schenk, Thilo Sandner, Thomas Klose, Alexander Wolter
Document Type:Patent
Language:English
Year of publication:2013
Patent number:DE 10 2008 013 116
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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