Micromechanical device with tilted electrodes

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Metadaten
Author: Harald Schenk, Thilo Sandner, Christian Drabe, Thomas Klose, Denis Jung
Document Type:Patent
Language:English
Year of publication:2012
Patent number:DE 10 2008 012 825
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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