Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit und Verfahren zum Herstellen desselben (Micromechanical component having inncreased stiffness, and method for the production of the same
Author: | Harald Schenk, Thilo Sandner |
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Document Type: | Patent |
Language: | German |
Year of publication: | 2012 |
Patent number: | DE 11 2007 003 051 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme |