Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit und Verfahren zum Herstellen desselben (Micromechanical component having inncreased stiffness, and method for the production of the same

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Metadaten
Author: Harald Schenk, Thilo Sandner
Document Type:Patent
Language:German
Year of publication:2012
Patent number:DE 11 2007 003 051
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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