Method for the compensation of deviations occurring as a result of manufacture in the manufacture of micromechanical elements and their use

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar
Metadaten
Author: Thomas Klose, Alexander Wolter, Harald Schenk
Document Type:Patent
Language:English
Year of publication:2012
Patent number:DE10 2006 043 388 (10.04.2008)
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
Einverstanden ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.