Spatially resolved contrast measurement of diffractive micromirror arrays

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Author: Cornelius Sicker, Jörg Heber, Dirk Berndt, Florian Rückerl, Jean-Yves Tinevez, Spencer Shorte, Michael Wagner, Harald Schenk
ISBN:978-1-62841-465-3
Title of the source (English):MOEMS and miniaturized systems XIV, 9 - 12 February 2015, San Francisco, California, United States
Publisher:SPIE
Place of publication:Bellingham, Wash.
Document Type:Scientific journal article not peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2015
First Page:93750D-1
Last Page:93750D-10
Series ; volume number:Proceedings of SPIE ; 9375
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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