A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar
Metadaten
Author: Holger Conrad, Harald Schenk, Bert Kaiser, Sergiu Langa, Matthieu Gaudet, Klaus Schimmanz, Michael Stolz, Miriam Lenz
DOI:https://doi.org/10.1038/ncomms10078
ISSN:2041-1723
Title of the source (English):Nature Communications
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2015
Issue number:6
First Page:10078
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
Einverstanden ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.