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Author: Bert Kaiser, Thomas Grashoff, Christian Drabe, Holger Conrad, Harald Schenk
URL:http://iopscience.iop.org/article/10.1088/0960-1317/25/8/085003
ISSN:0960-1317
Title of the source (English):Journal of Micromechanics and Microengineering (JMM)
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2015
Volume/Year:25
Issue number:8
First Page:8085003
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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