Electronic properties of interfaces produced by silicon wafer hydrophilic bonding

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Author: Maxim Trushin
URN:urn:nbn:de:kobv:co1-opus-22841
Document Type:Doctoral thesis
Language:English
Year of publication:2011
Number of pages:180 Bl.
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Experimentalphysik und funktionale Materialien
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