Nonlinear Characterization of the Surface of Silicon Wafers: In-situ Detection of External Stress

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Metadaten
Author: Jürgen ReifGND, Reiner P. Schmid, Thomas Schneider, Dirk Wolfframm
ISSN:0038-1101
Title of the source (English):Solid State Electronics 44
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2000
Volume/Year:44
Issue number:5
First Page:809
Last Page:813
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Experimentalphysik und funktionale Materialien
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