Mechanical Properties of nitrogen-doped CZ silicon crystals

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar
Metadaten
Author: Valeri Orlov, Hans Richter, A. Fischer, Jürgen ReifGND, T. Müller, R. Wahlich
ISSN:1369-8001
Title of the source (English):Materials Science in Semiconductor Processing 5
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2002
Volume/Year:5
Issue number:4-5
First Page:403
Last Page:407
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Experimentalphysik und funktionale Materialien
Einverstanden ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.