Imaging structure and composition homogeneity of 300 mm SiGe virtual substrates for advanced CMOS applications by scanning X-ray diffraction microscopy

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Author: Marvin H. Zöllner, Marie-Ingrid Richard, Gilbert A. Chahine, Peter Zaumseil, Christian Reich, Giovanni CapelliniORCiD, Francesco Montalenti, Anna Marzegalli, Ya-Hong Xie, Tobias U. Schülli, Maik HäberlenGND, Peter Storck, Thomas Schroeder
DOI:https://doi.org/10.1021/am508968b
ISSN:1944-8252
Title of the source (English):ACS Applied Materials and Interfaces
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2015
Volume/Year:7
Issue number:17
First Page:9031
Last Page:9037
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Halbleitermaterialien
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