Morphology and composition of selected high-k materials and their relevance to dielectric properties of thin films

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Author: Gunther Lippert, Jarek Marek Dabrowski, L. Oberbeck, U. Schroeder, Ioan Costina, Grzegorz Lupina, Markus Ratzke, Peter Zaumseil, Hans-Joachim Müssig
DOI:https://doi.org/10.1149/1.2875741
ISSN:1945-7111
Title of the source (English):Journal of the electrochemical society
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2008
Volume/Year:155
Issue number:5
First Page:G97
Last Page:G114
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Experimentalphysik und funktionale Materialien
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