Hexagonal LaLuO3 as high-k dielectric

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Author: Anna Schäfer, Fabian Wendt, Siegfried Mantl, Hilde Hartdegen, Martin Mikulics, Jürgen Schubert, Martina Luysberg, Astrid Besmehn, Gang Niu, Thomas Schroeder
DOI:https://doi.org/10.1116/1.4904401
Title of the source (English):Journal of Vacuum Science and Technology : B
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2015
Volume/Year:33
First Page:01A104
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Halbleitermaterialien
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