CMUTs in Permanent Contact Operation for High Output Pressure

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Author: Min-Chieh Ho, Maik Hoffmann, Alexander Unger, Kwan Kyu Park, Mario Kupnik, Butrus T. Khuri-Yakub
DOI:https://doi.org/10.1115/IPACK2015-48733
ISBN:978-0-7918-5690-1
Title of the source (English):Proceedings, ASME 2015 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems and ASME 2015 13th International Conference on Nanochannels, Microchannels, and Minichannels
Publisher:ASME
Place of publication:New York, NY
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2015
Number of pages:6
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Elektronische Systeme und Sensorik
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