Einfache Methode zur Steigerung der Empfindlichkeit in Null-Ellipsometrie
Author: | Marco Muth, Reiner P. Schmid, Klaus Schnitzlein |
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URL: | http://www.dpg-verhandlungen.de/year/2013/conference/regensburg/part/ds/session/30/contribution/10 |
Title of the source (German): | DPG Frühjahrstagung 2013 in Regensburg |
Publisher: | DPG |
Place of publication: | Bad Honnef |
Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | German |
Year of publication: | 2013 |
Faculty/Chair: | Fakultät 2 Umwelt und Naturwissenschaften / AG Physikalische Chemie II |
Fakultät 3 Maschinenbau, Elektro- und Energiesysteme / FG Chemische Reaktionstechnik | |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Leichtbau-Keramik |
Fakultät für Umweltwissenschaften und Verfahrenstechnik (eBTU) / LS Chemische Reaktionstechnik |