Einfache Methode zur Steigerung der Empfindlichkeit in Null-Ellipsometrie

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Author: Marco Muth, Reiner P. Schmid, Klaus Schnitzlein
URL:http://www.dpg-verhandlungen.de/year/2013/conference/regensburg/part/ds/session/30/contribution/10
Title of the source (German):DPG Frühjahrstagung 2013 in Regensburg
Publisher:DPG
Place of publication:Bad Honnef
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of publication:2013
Faculty/Chair:Fakultät 2 Umwelt und Naturwissenschaften / AG Physikalische Chemie II
Fakultät 3 Maschinenbau, Elektro- und Energiesysteme / FG Chemische Reaktionstechnik
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Leichtbau-Keramik
Fakultät für Umweltwissenschaften und Verfahrenstechnik (eBTU) / LS Chemische Reaktionstechnik
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