Specific modifications to enhance sensitivity in null-ellipsometry
Author: | Marco Muth, Reiner P. Schmid, Klaus Schnitzlein |
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URL: | http://www.ipfdd.de/fileadmin/user_upload/ax/OEA/8th_Workshop_Ellipsometry/Book%20of%20abstracts.pdf |
Title of the source (English): | Book of abstracts, 8th Workshop Ellipsometry, March 10 - 12, 2014, Dresden, Germany |
Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | English |
Year of publication: | 2014 |
First Page: | S. 84 |
Faculty/Chair: | Fakultät 2 Umwelt und Naturwissenschaften / AG Physikalische Chemie II |
Fakultät 3 Maschinenbau, Elektro- und Energiesysteme / FG Chemische Reaktionstechnik | |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Leichtbau-Keramik |
Fakultät für Umweltwissenschaften und Verfahrenstechnik (eBTU) / LS Chemische Reaktionstechnik |