MetadatenAuthor: | Karsten HenkelORCiDGND, Massimo TallaridaORCiD, Jörg Haeberle, Hassan Gargouri, Franziska NaumannORCiD, Bernd Gruska, Michael Arens, Dieter SchmeißerORCiD |
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Title of the source (German): | Tagungsband Photovoltaik-Meeting: Anwendungen-Qualität-Perspektiven, Senftenberg, 16.04.2014 |
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Publisher: | Cottbus-Senftenberg |
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Place of publication: | BTU |
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Editor: | Bernhard K. Glück, Sindy Schmidt, Erhard Stein, Jörg-Uwe Raschke, Hans Richter |
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Document Type: | Conference Proceeding |
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Language: | German |
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Year of publication: | 2014 |
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Tag: | Al2O3; Atomlagenabscheidung (ALD); PE-ALD; Passivierung; negative fixe Oxidladungen |
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First Page: | 7 |
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Last Page: | 14 |
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Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
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Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |
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