Wafer level vacuum packaging of scanning micro-mirrors using glass-frit and anodic bonding methods

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Metadaten
Author: Sergiu Langa, Christian Drabe, Christian Kunath, André Dreyhaupt, Harald Schenk
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2003525
ISBN:978-0-8194-9385-9
Title of the source (English):SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XII, San Francisco, 2013
Publisher:SPIE
Place of publication:Bellingham, Wash.
Document Type:Scientific journal article not peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2013
Contributing Corporation:Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
Edition:1. Auflage
First Page:86140F-1
Last Page:86140F-8
Series ; volume number:Proceedings of SPIE ; 8614
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Mikro- und Nanosysteme
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