Quasistatic microscanner with linearized raster scanning for an adaptive 3D-laser camera

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Metadaten
Author: Thilo Sandner, Thomas Grashoff, Markus Schwarzenberg, Harald Schenk, Andreas Tortschanoff
ISBN:978-1-4799-1512-5
Title of the source (English):SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XII, San Francisco, 2013
Publisher:SPIE
Place of publication:Bellingham, Wash.
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2013
Contributing Corporation:Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
First Page:861605-1
Last Page:861605-6
Series ; volume number:Proceedings of SPIE ; 8616
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Mikro- und Nanosysteme
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